產(chǎn)品中心
Product Center
當前位置：首頁
產(chǎn)品中心材料樣品檢測探針臺KT-Z1604TZ高溫真空探針臺
產(chǎn)品簡介
高溫真空探針臺KT-Z1604TZ，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃。以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。
| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
高溫真空探針臺KT-Z1604TZ
真空探針臺可實現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學性能測量，真空腔一體成型，具有設計合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機械精度高等特點；根據(jù)測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-196℃，；真空系統(tǒng)可選機械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。
高低溫真空探針臺應用：
可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領域。
高溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數(shù)
|
真空腔體 | |
|
腔體材質 |
304不銹鋼 |
|
上蓋開啟 |
鉸鏈側開 |
|
加熱臺材質 |
304不銹鋼 |
|
內腔體尺寸 |
φ160x90mm |
|
觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
|
加熱臺尺寸 |
φ60mm |
|
觀察窗熱臺間距 |
75mm |
|
加熱臺溫度 |
﹣196~350℃ |
|
加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
|
真空度 |
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
|
允許正壓 |
≤0.1MPa |
|
真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
|
氣體進氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
|
電信號接頭 |
SMA轉BNC X 4 |
|
電學性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
|
探針數(shù)量 |
4探針 |
|
探針材質 |
鎢針 |
|
探針尖 |
10μm |
|
探針移動平臺 | |
|
X軸移動行程 |
30mm ±15mm |
|
X軸控制精度 |
≤0.01mm |
|
Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
|
Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
|
電子顯微鏡 | |
|
顯微鏡類別 |
物鏡 |
|
物鏡倍數(shù) |
0.7-4.5倍 |
|
工作間距 |
90mm |
|
相機 |
sony 高清 |
|
像素 |
1920※1080像素 |
|
圖像接口 |
VGA |
|
LED可調光源 |
有 |
|
顯示屏 |
8寸 |
|
放大倍數(shù) |
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
上一個：
返回列表
